適合半導(dǎo)體前端單晶矽製程中矽片及晶圓盒的存放,防止矽片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由於大部分的存儲櫃或者是氮?dú)鈾櫾O(shè)計都為全封閉環(huán)境，隻控製濕度及氧含量濃度這塊，並無自淨(jìng)功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。鬆鑫潔淨(jìng)櫃則適合存放需要低濕保存，同時又需要避免灰塵汙染的物品.

相關(guān)技術(shù)指標(biāo)： 

1）潔淨(jìng)等級

專業(yè)高效潔淨(jìng)過濾裝置，材質(zhì)采用進(jìn)口PTFE,確保潔淨(jìng)櫃內(nèi)CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空櫃或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下，必潔淨(jìng)度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。   

2）TDH實驗

即存放在潔淨(jìng)櫃內(nèi)經(jīng)過乾燥2小時的矽片不能有不正?；虺瑯?biāo)返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測試後總數(shù)平均數(shù)與原有矽片顆粒數(shù)對比≦10ea (包括0.2um及0.3um))   

3）降濕速度

除濕性能可達(dá)到5%以下,空櫃或每層放置固定數(shù)量晶圓盒，在氮?dú)饬髁坎淮箪?0L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大於30min；

4) 進(jìn)口無塵風(fēng)機(jī)：采用進(jìn)口無塵室專用FFU風(fēng)機(jī)，麵風(fēng)速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘餘值測定鬆鑫全功能潔淨(jìng)氮?dú)鈾櫍ㄟx配）

潔淨(jìng)氮?dú)鈾檭?nèi)放置的矽片盒，經(jīng)過乾燥2小時後，矽片盒取樣及定點(diǎn)測試靜電值必須≦1kv

6）櫃內(nèi)風(fēng)速均勻性

潔淨(jìng)櫃內(nèi)有氮?dú)獾臒o死角，可使用風(fēng)速測定儀來檢測內(nèi)部矽片放置各點(diǎn)的風(fēng)速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示及記錄管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達(dá)30米；

溫濕度顯示監(jiān)控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監(jiān)控，在潔淨(jìng)櫃在完全關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。

百級潔淨(jìng)氮?dú)鈾欀饕攸c(diǎn)：

一、規(guī)格尺寸:W1300*D800*H1985mm(也可提供訂製)

1、材質(zhì)：SUS304雙鏡麵

2、工作電壓：220V

3、溫濕度顯示器精度：相對濕度±3%Rh，溫度±1℃ 

二、主要特色

RSD-COL-4M係列是集快速降濕、除塵、氮?dú)夤?jié)約功能於一體的無塵室儲存設(shè)備。

潔淨(jìng)氮?dú)鈾櫘a(chǎn)品說明：

*控製方式：采用濕度/氧含量控製的方法。

*高潔淨(jìng)過濾器FFU采用美國等進(jìn)口知名品牌。

*靜音離心風(fēng)機(jī)采用德國等進(jìn)口知名品牌。

*采用高品質(zhì)靜電消除裝置。

*對氮?dú)膺M(jìn)行前期潔淨(jìng)預(yù)處理。

*采用雙數(shù)顯式控製器，對箱內(nèi)濕度或含氧量進(jìn)行顯示和控製（二選一）。設(shè)備具有很好的密封性能，塵埃過濾，水平或垂直送風(fēng)。

*設(shè)備可由濕度和氮濃度檢測顯示,氮?dú)饬髁靠匮u,高潔淨(jìng)過濾器受阻等多個係統(tǒng).

*控製儀可選配置進(jìn)行溫濕度含氮量數(shù)據(jù)的實時顯示,存儲和輸出和報警功能。

不鏽鋼潔淨(jìng)型有四項主要特色：

1、模組化設(shè)計：本機(jī)器采用獨(dú)特的模組化設(shè)計，溫濕度顯示器、控製係統(tǒng)、除塵係統(tǒng)及除靜電係統(tǒng)均能快速更換，保養(yǎng)及維修簡便，大大提升維護(hù)效率。

2、彈性設(shè)計：整臺設(shè)備現(xiàn)有除濕、除塵、防靜電、氮?dú)夤?jié)約、數(shù)據(jù)收集和聲光警報功能均可依據(jù)客戶需求配置。

3、簡易的操作：在完成濕度目標(biāo)值設(shè)定後，RSD-COL係列各功能獨(dú)立性強(qiáng)，開關(guān)按鍵設(shè)置簡潔明了，操作人員可快速掌握其操作方法。

4、**性設(shè)計：內(nèi)置雙重抗乾擾設(shè)計，可有效解決相鄰高壓設(shè)備帶來的乾擾和因操作不當(dāng)導(dǎo)致的電器部件損毀問題。

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